半导体气动隔膜泵是一种利用气体压力驱动的隔膜泵，其工作原理如下：

1. 结构组成：半导体气动隔膜泵由两个隔膜、两个阀体和一个泵体组成。泵体内部分为两个隔离的腔室，每个腔室都有一个进出口阀。

2. 工作过程：当气源通过进气阀进入泵体的一个腔室时，该腔室的隔膜被气体推动向另一个腔室移动，同时另一个腔室的隔膜被压缩空气推动向外移动。这样，泵体内部的压力差会导致液体从进口阀进入泵体，然后通过出口阀排出。

3. 工作原理：当气源压力增加时，气体通过进气阀进入泵体，推动隔膜移动，使液体从进口阀进入泵体。当气源压力减小时，弹簧将隔膜推回原位，使液体从泵体排出。这样，通过不断地改变气源压力，可以实现液体的连续输送。

4. 特点：半导体气动隔膜泵具有结构简单、体积小、重量轻、维护方便等特点。由于其工作原理不需要电力驱动，因此可以在一些特殊环境下使用，如易燃、易爆、腐蚀性液体等。

总之，半导体气动隔膜泵通过气源压力的变化来驱动隔膜的移动，从而实现液体的输送。其简单的结构和方便的维护使其在一些特殊环境下得到广泛应用。